
恐损失数亿美元!随机性变异冲击先进制程 Fractilia助攻2奈米量产
Fractilia指出,传统制程控制策略无法有效解决这类误差,需要导入全新思维,包括:精准的随机性量...
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Fractilia FAME 300专为量产晶圆厂设计,能即时测量和监控先进节点微影图案化误差中的随...
...量国际论坛」,邀请致茂集团/兆晟奈米科技、工研院、Fractilia、Oxford Instrume...