针对这起台积电泄密案，高检署于7月底展开侦办行动，陆续拘提6人到案说明。其中，一名陈姓工程师为台积电前员工，与当时仍于台积电任职的吴姓、戈姓工程师2人勾结，并透过居家远端办公漏洞，利用吴男等2人以公司配发的笔电登入内网，再由陈男翻摄电脑萤幕窃取二奈米制程技术图档，3人被依涉嫌违反《国家安全法》声押禁见获准。
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根据2023年行政院公告的国家核心关键技术清单，涵盖14奈米以下制程的IC制造技术及其关键气体、化学品及设备等项目，台积电的2奈米制程技术即属「国家核心关键技术」；另因《国安法》已明订经济间谍罪，若为外国窃取国家核心关键技术的营业秘密，依法将由检调侦办，违法恐面临最高12年有期徒刑、新台币1亿元罚金的刑责。
据了解，检调单位积极深入追查相关金流，将厘清本案是否有幕后的商业间谍操作？亦或仅是单纯的工程师见有利可图，便出售商业机密。
媒体报导，陈姓工程师先前曾在台积电公司任职长达近8年，前几年先是担任量测相关的工作，需与研发、晶圆生产及采购部门合作，后几年则参与过5、3奈米等先进制程的缺陷改善，而吴男、戈男都是和陈男在缺陷改善部门的老同事。随后，陈男则在2022年底被日商设备大厂挖角，担任公司的高级行销专员，负责台积电有关蚀刻设备相关服务。
而社群媒体也流传著一张LINE群组截图，文字透露涉案的3名工程师均毕业于国立顶尖大学且皆有家室，其中某位工程师最近还接连买房，光是自备款就需要3千万元，且常和同事说自己不缺钱，平日也不太甩老板、常常搞消失，而同事、朋友们对于该工程师突然变有钱，疑似也感到相当惊讶。
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