家硕科技主要专注于半导体微影制程中包括光罩清洗、交换、储存、管理等光罩传载自动化设备,主要应用于EUV光罩及高阶制程之光罩传载自动化技术解决方案。旗下子公司升和精技股份有限公司于114年成功研发PVD高温溅镀设备,此开发设备已进入实验认证阶段,透过溅镀方式成长氮化铝及氮化镓磊晶的技术有所突破,并于2025年6月与「TPSA台湾显示器暨应用产业协会」进行技术分享与交流,有望未来能将此技术导入化合物半导体磊晶制程技术应用。

家硕科技在高阶光罩充气技术深耕多年、有坚强的专利布局,其中搭配母公司家登精密的载具存放、连续充气式仓储设备等解决方案,品质稳定且高附加价值已获得多家国际大厂认证采用,进入全球晶圆制造领导厂商之供应链。因应半导体产业发展兼顾环境永续发展,近期在光罩充气储存方案上,家硕与客户合作创新与改良充气技术,此方案有助于优化充气气体使用量,协助半导体生产制造符合ESG永续经营之要求。此外,随著半导体高阶2奈米制程发展,客户端对于EUV光罩充气与长期储存需求攀升,于114年下半年订单能见度提高。家硕亦同步与客户偕同开发光罩、晶圆、后段封装新产品应用,以稳健营运及创新技术为公司注入营收动能。


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