为降低先进制程带来的高能耗，台积电携手供应商推动「EUV 动态节能计划」。实测显示，EUV 产线设备每年可节省约 8% 能源，并自 9 月起已陆续导入晶圆十五 B 厂、晶圆十八 A/B 厂，今年底前将全面应用于全球所有 EUV 设备，并列为新建厂区的标准设计。台积电预估，该计划至 2030 年可累积节电 1 亿 9,000 万度，相当减碳 10 万 1,000 公吨，兼顾产能扩充与环境永续。
台积电指出，自 7 奈米制程导入极紫外光（EUV）微影以来，设备数量持续成长，带来庞大能源需求。为兼顾技术发展与绿色生产，2024 年与设备供应商合作，成功将 EUV 微影设备瞬时用电量降低 44%，并透过厂内自动化系统依需求调整能源分配，有效减少耗电同时维持产能稳定，落实绿色生产流程。
同时，台积电也呼应联合国永续发展目标（SDG）第 7 项「可负担的洁净能源」，持续扩大节能范畴，评估将动态节能技术从 EUV 扩展至深紫外光（DUV）及其他非微影制程模组设备，以进一步强化整体能源效率。
不过，SemiVision 数据显示，台积电 2024 年 255.5 亿度用电中，仍有 219.4 亿度来自非再生能源，比重逾 83%；其中制程设备仅占 46.1%，其余 53.9% 来自厂务运作。随著未来用电持续攀升，如何持续降低整体能耗，将是台积电在台湾永续营运的长期挑战。
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